对硅片进行磨削的金刚石砂轮

发布日期：2021-10-08 08:28 来源：未知点击：

　　砂轮是一种磨削工具。金刚石砂轮可以分为自锐金刚石砂轮与普通金刚石砂轮，自锐性金刚石砂轮与普通金刚石砂轮相比，表面形貌不规则，有尖锐的棱角，易于破碎。在磨削硬质合金、半导体、陶瓷等材料的金刚石砂轮，大多使用自锐性金刚石砂轮。硅片超精密磨削也用自锐性金刚石砂轮。

　　结合剂在砂轮中只起到粘结作用。砂轮中常用的结合剂有树脂结合剂、金属结合剂、陶瓷结合剂。其中树脂结合剂具备的条件如下，1.对磨粒有较好的粘结能力；2.有较好的机械性能和耐热性能；3.具有较好　的工艺性能易于加工制造；4.价格便宜，来源充足。正是因为树脂结合剂有以上的特点，所以硅片超精密磨削用砂轮结合剂使用树脂结合剂。
　　砂轮中的气孔存在方式有两种，一是连贯式和独立式。有气孔普通砂轮以及陶瓷结合剂的超硬砂轮大多是前一类，有吸水性。后者基本上是添加中空材料和水溶性粒子，表面经修整后暴露在外，再行成于思枯削液浸泡后形成很多气孔。气孔反映了砂轮中结构的疏密，一般通过配方和制造时的压力大小来控制，气孔在磨削过程中重要，一方面可以在一定程度上防止堵塞，另一方面在磨削过程中可以带走磨屑和磨削液。应及时清理碎片枯屑，改善砂轮的容屑空间。此外气孔会对磨削工件的粗糙度有影响，气孔增加，硅片表面粗糙度会降低。
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