陶瓷CBN砂轮磨削LED基板

发布日期：2021-08-13 11:12 来源：未知点击：

铜做为新的互连材料被引入集成电路之后，为LED基板的磨削来来的新的难题与挑战。为此我所用自行研发的陶瓷CBN砂轮进行试验，取得良好效果

随着半导体、光电技术的飞速发展，芯片尺寸越来越小，对芯片的分离技术越来要求越高，铜被引入后，加工难度增大，在LED铜复合基板的精密磨削加工中，要克服铜在磨削过程中氧化，腐蚀，易变形的问题，增加砂轮磨削的难度。对此，我们提高砂轮磨削的效率、提高节拍，避免磨削加工中切屑堵塞砂轮以及磨削热产生的应力变形现象，进行了试验
具体过程，在保持其他不变的情况下，CBN 砂轮的湿磨的方式，轮廓平均算数偏差值RA、微观不平度十点高度RZ、轮廓最大高度RY均越大，不仅可以提高磨削效率，而且有助于促进陶瓷结合剂的脆塑性转变，而获得较好的磨削质量。磨削质量与磨削接触区的温度有关，CBN砂轮气孔率越大，越有利于散热且也很好的容屑排屑，塑性去除率比较大，提高了磨削质量，稳定性好。
设计开发的CBN砂轮结合剂其特点是:
1.结合剂耐火度较低，
2.结合剂强度高
3.结合剂的热膨胀应与磨料匹配，如果差距过大，烧结后会使结合剂对磨料的把持性降低，还可能使砂轮产生裂纹而降低砂轮
4.结合剂的高温润湿性好
5.结合剂与磨料之间应无明显的化学反应，倘若结合剂与磨料发生化学反应，导致磨料结构遭到破坏，使参与磨削的有效磨料数减少，而降低砂轮的磨削效率
6.结合剂要具有良好工艺性能，此外结合剂的高温流动性应不能过大，以免堵塞砂轮气孔，影响砂轮的散热与容屑功能等
在实验中，可以看到，研发出的陶瓷CBN砂轮造孔剂粒度小，形成的气孔小，结合相对比较紧密造成的，因为造孔剂粒度大，大的气孔率砂轮连接尺寸较大，外力作用易发生断裂，致使抗折偏低，但大的气孔率砂轮易散热，容屑排屑效率高，所以在砂轮制备中，在粒度适宜的范围内，宜选高强度的结合剂。
今天的分享就这些了，欢迎大家持续关注中科超硬磨具磨削研究所。中科可定制各种型号的CBN砂轮。
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